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晶圓測(cè)試探針使用在晶圓垂直針卡內(nèi)，分為MEMS 針與彈簧探針兩類。其中MEMS 針直徑極細(xì)，具有高度的一致性和穩(wěn)定性。MEMS 工藝能加工出細(xì)微直徑的金屬微結(jié)構(gòu)，可滿足細(xì)間距、彈性測(cè)試范圍、高針數(shù)和高密度等測(cè)試需求。而彈簧探針則多用于WLCSP測(cè)試，具備成本低，維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。